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数字干涉传感器简介 DWI Sensor（Digital wavefront interference sensor）数字波前干涉传感器是利用最新的随机编码数字光栅技术，利用自身的四波前横向剪切干涉形成共光路干涉系统；系统自干涉所以无需参考镜、结构紧凑、具有很强的抗外界环境干扰能力，无须在隔振、恒温等严苛的实验条件下就可以对待测波前实现高精度且稳定的检测；利用剪切差分干涉使系统具有较大的动态范围和更广泛的应用； DWI Sensor配备了500万像素的CCD，随机附有DWI Sensor高精度波前重构的数字图像处理软件，输出被测波前或精密元件表面面形的PV值、RMS均方根值、等高图及三维图等丰富的数据图像，是科研及车间现场检测优选的具有先进技术的国产化的数字干涉传感器。
DWI Sensor 设备特点
检测波长具有宽波段，传感器检测波长涵盖从紫外、可见光及近红外波段，可以满足从民用到国防的检测需求；
系统采用剪切波前共路自干涉-无需参考面；
传感器的抗振性能好，工作中无需隔震平台，在普通车间现场环境、野外均可以应用检测；
设备性价比高，结构紧凑、比传统干涉仪调整起来更为简单；
传感器实时性好，可做到数十帧的动态检测；
具有强大的数字波前重构的图像处理软件包，软件可实时给出相关的数字波前数据，并可以根据用户要求提供相应的软件需求。
DWI Sensor 应用范围
可用于不同波段连续光、瞬态波前、高速流场、气动光学的波前检测；
各类高清监控窗口玻璃畸变、元件面形检测；
可用于高精度光学系统像质检测、光学系统调整监控；
激光束的高精度光束质量检测；
用于生物领域的3D活体细胞显微镜，实时检测和跟踪细胞动态；
用于各类精密材料及元件表面的3D金相显微镜，可以显示及获取表面微观轮廓及图像数据。
应用示例
DWI Sensor检测结果 ZYGO波前检测
图1用于面形波前检测：与ZYGO比对结果
图2 3D 活体细胞检测结果
设备技术指标及外观
型号 | DIM-DWI-Sensor |
感光面视场（mm2） | 7 7（=10） |
感光面类型 | CMOS |
CCD像素 | 20482048 |
CCD像元尺寸（μm） | 3.45 |
波长（nm） | 633 ± 100 |
动态范围（） | 50 |
RMS精度（nm） | 10 |
RMS 测量重复性() | 1/1000 |
灵敏度（nm） | 2 |
实时采样频率（fps） | 15 |
实时显示帧频（Hz） | 优于10 |
尺寸（mm3） | 55 55 73 |
图像采集及数据 处理软件 | 提供图像处理器：显示及输出PV值、RMS均方根值、等高图及三维图等丰富的数据图像、波前数据文件 |
CCD镜头接口 | C-Mount |
CCD数据接口 | Gigabit Ethernet（1000Mbit/s）兼容 |
重量（g） | 300 |
外观尺寸及布局